RHP150 PLUS | RHP200 | RHP440 | RHP620 | RHP640AVP | |||||||
RHP150 PLUS
RHP150은 실리콘, 사파이어 등의 기판 어닐링을 위한 급속
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RHP200
RHP200은 메모리 및 로직 디바이스에 사용할 수 있는 200mm
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RHP440
RHP440은 2”또는 4” 사파이어 웨이퍼의 ITO 어닐링을 위한
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RHP620
RHP620은 6” 실리콘, 사파이어 웨이퍼의 어닐링을 위한
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RHP640AVP
RHP640AVP은 6” 사파이어 웨이퍼의 ITO 어닐링을 위한
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